Eolas coiteann ar sputtering maighnéada i bhfolús i bhfolús- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Eolas coiteann ar sputtering maighnéada i bhfolús i bhfolús

DC Sputtering Magnetron , RF Magnetron Sputtering, Pulsed Magnetron Sputtering agus Magnetron Fre2quency Meánach Sputtering

Is é atá i gceist le sputtering imoibríoch ná cion áirithe de ghás imoibríoch a thabhairt isteach san atmaisféar gáis támh sa chóras sputtering. De ghnáth, is iad na príomhgháis imoibríocha ná ocsaigin agus nítrigin.

Baintear úsáid as an modh sputtering DC chun sciath sputtering agus imoibríoch a sputtering ina bhfuil an t -ábhar sputtered ina ábhar seoltaí, agus tá an trealamh próisis simplí agus tá ráta sputtering ard aige.

I gcóras sprice aon chatóide amháin, tá an scaoileadh muirir céanna ag sputtering maighnéad -mhinicíochta meánach AC mar sputtering Pulse Magnetron. Cuirtear an teicneolaíocht sputtering mheánmhinicíochta AC i bhfeidhm freisin ar an gcóras sputtering spriocdhírithe (Twin2Mag). Is é an sprioc -spriocdhíriú meánmhinicíochta AC ná an dá cheann aschuir den soláthar cumhachta meánmhinicíochta AC a cheangal le catóidí faoi seach an réimse dúnta maighnéadach dúbailte gan chothromú. Dá bhrí sin, faightear voltais ailtéarnacha le céimeanna eile faoi seach ar na spriocanna dúbailte, agus bíonn péire spriocanna maighnéada ag sputtering ina gcatóidí agus ina n -anóidí gach re seach.

Feabhsaíonn an teicneolaíocht sputtering dúbailte sprice go mór cobhsaíocht na hoibríochta sputtering maighnéada, ar féidir leis carnadh na muirear a sheachaint ar an sprioc -dhromchla nimhe, rud a fhágann go bhfuil fadhb na n -adhainte stua ar an sprioc -dhromchla agus cealú an anóid. Leag an bunús le haghaidh olltáirgeadh.

Magnetron Meaisín Cumhdach Sputtering

Is féidir bratuithe ian agus sputtering il-stua a thaisceadh i raon leathan dathanna. Is féidir feabhas breise a chur ar an ngearán dathanna trí gháis imoibríocha a thabhairt isteach sa seomra le linn an phróisis sil -leagain. Is iad na gáis imoibríocha a úsáidtear go forleathan le haghaidh bratuithe maisiúla ná nítrigin, ocsaigin, argón nó aicéitiléin. Déantar na bratuithe maisiúla a tháirgeadh i raon datha áirithe, ag brath ar an gcóimheas miotail-go-gás sa sciath agus i struchtúr an sciath. Is féidir an dá fhachtóir seo a athrú trí na paraiméadair sil -leagain a athrú.

Roimh an teistíocht, déantar na codanna a ghlanadh ionas go mbeidh an dromchla saor ó neamhíonachtaí deannaigh nó ceimiceacha. Nuair a bheidh an próiseas brataithe tosaithe, déantar monatóireacht agus rialú leanúnach ar na paraiméadair phróisis ábhartha go léir

Comhroinn: