Gnéithe de chórais sputtering in-líne

Is éard atá i gcóras sputtering PVD "in-líne" ceann ina dtéann foshraitheanna go líneach faoi bhun catóid sputter amháin nó níos mó chun a sciath scannán tanaí a fháil. De ghnáth, déantar na foshraitheanna a luchtú ar iompróir nó ar phailléid chun an tairiscint seo a éascú, agus láimhseálann roinnt córas níos lú pailléid amháin in aghaidh an bhaisc. D'fhéadfadh sé go mbeadh sé de chumas ag córais níos mó pailléid iolracha a láimhseáil trí láimhseálaithe pailléid an stáisiúin deiridh a úsáid a sheolann agus a fhaigheann pailléid amháin i ndiaidh a chéile i gconmhaigh leanúnach a théann tríd an bhfochóras iompair, barr gach ceann de na rudaí seo a leanas taobh thiar de eireaball an cheann roimhe seo.

Is é an chumraíocht choiteann, agus is casta, ná na pailléid agus na catóidí a bheith cothrománach le catóidí ar an mbarr agus foshraitheanna ar an mbun i dtreoshuíomh sputter síos. Sa mhodh seo, is iondúil gurb é domhantarraingt an t -aon rud a choinníonn na foshraitheanna ar na pailléid, agus freisin an t -aon rud a choinníonn na pailléid ar an meicníocht iompair, ar féidir leo a bheith ina slabhraí ag rith taobh le ráillí taobh tríd an seomra folúis.

Is féidir an socrú cothrománach sin a dhéanamh freisin le catóidí ar an mbun agus foshraitheanna ar a bharr le haghaidh treoshuímh sputter suas, ach is léir go gcuireann sé seo leis an uirlisí beagán, rud a éilíonn modhanna meicniúla chun na foshraitheanna a choinneáil i bhfeidhm ionas nach dtitfidh siad. Maidir le sciath aon -thaobhach, ní cumraíocht an -choitianta é seo, ach uaireanta déantar é le haghaidh sciath dhá thaobh, le catóidí os cionn agus faoi bhun na bpailléid. Tá oscailtí cuí ag na pailléid sa chás seo chun na foshraitheanna a choinneáil ionas gur féidir leis na taobhanna bun an sciath sputter a fháil ón gcatóid íochtarach ag an am céanna faigheann an taobh uachtair an sciath sputter síos ón gcatóid uachtarach.

Ach tá míbhuntáiste ag cothrománach i dtéarmaí cáithníní. I mód sputter síos, is féidir le cáithníní a ghintear taobh istigh den seomra talamh a thabhairt go héasca ar na foshraitheanna agus iad a neadú sa scannán - agus tá sé sin faoi cheangal tarlú. Tá córais sil -leagain beagán truaillithe le hábhar ag fáil áiteanna seachas díreach ar na foshraitheanna. Is í an tsaincheist chothabhála is mó is mó ná rudaí a choinneáil glan. I dtreoshuíomh sputter suas, ní fhaigheann na cáithníní sin ar na foshraitheanna, ach is féidir leo talamh a chur ar na spriocanna agus a ath-urghabháil. Meaisín Cumhdaigh Fholúis Tanaí Alúmanaim Páipéir

Mar sin, i gcás timpeallacht cháithníneach níos fearr, tá an rogha treoshuímh ingearach ann freisin le haghaidh sputtering taobh. Tá na catóid agus na pailléid araon ingearach, agus tá an teistíocht cliathánach. Tá an córas uirlisí agus iompair i bhfad níos casta chun na foshraitheanna a choinneáil ar an phailléid agus chun an phailléid a láimhseáil sa treoshuíomh sin, ach is lú an seans go dtitfidh cáithníní ar an gcatóid nó ar an tsubstráit.

In aon cheann de na cumraíochtaí seo, is féidir na cineálacha éagsúla catóidí go léir a úsáid, agus is iondúil gurb iad maighnéadanna an tóir, planar nó inset. Agus is féidir le cumhacht a bheith ar aon cheann de na cineálacha éagsúla atá ar fáil mar RF, MFAC, DC, nó DC Pulsed mar atá ag teastáil don iarratas. Is féidir freastal ar chéimeanna roghnacha ar nós sputter etch, teas, nó foinsí ian freisin, agus tá an raon iomlán ionstraimíochta agus rialuithe ar fáil le haghaidh bratuithe miotalacha/seoltaí, tréleictreacha, bratuithe optúla nó feidhmchláir sputter eile.

Cé gur féidir cineálacha eile a úsáid, tá na catóidí i gcórais den sórt sin dronuilleogach. De ghnáth, tá ais fhada an chatóid dhronuilleogach trasna an tseomra agus tá an ais ghearr ar feadh treo taistil pailléid. Agus, cé gur féidir catóidí a chumrú le haghaidh sciath neamh -aonfhoirmeach d'aon ghnó, tá formhór mór na n -úsáideoirí ag iarraidh go mbeadh a gcuid foshraitheanna brataithe go haonfhoirmeach. I gcóras in-líne de réir mar atáimid ag plé, tá an aonfhoirmeacht i dtreo taistil phailléid ag brath ar chobhsaíocht na cumhachta catóide agus an mheascáin brú seomra/gáis, mar aon le cobhsaíocht an luais iompair, agus ar deireadh na suíomhanna tosaithe/stad os comhair agus taobh thiar den chrios sil-leagain.

I gcás pailléid amháin, nó don phailléid agus don phailléid dheireanach i rinn go dtí rith leanúnach eireaball, caithfidh an suíomh tosaithe (chomh maith leis an suíomh stad) a bheith i bhfad amach as an sprioc chun sil-leagan neamhphleanáilte a fhabhrú le linn aon tréimhse cobhsaíochta réamh-sputter, sula dtosaíonn tú an scanadh. Ba chóir go dtarlódh aon tosaithe, stadanna, nó aisiompú ar threo scanadh taobh amuigh den chrios sil -leagain iarbhír agus ba chóir go mbeadh an scanadh seasmhach agus gan bhriseadh tríd an gcrios sil -leagain. Is féidir le scans a bheith ina pas singil i gceachtar treo, nó is féidir leo a bheith ar ais agus amach chun bratuithe níos tibhe a thógáil.

Tá trí agus ceithre chóras sprice coitianta go leor, agus is féidir fad an tseomra a mhéadú chun freastal ar fhoinsí breise de réir mar is gá. Le go leor soláthairtí cumhachta, is féidir spriocanna iomadúla a úsáid go comhuaineach i bpas amháin. Le sprioc -ábhair dhifriúla ar na catóidí, is féidir sraitheanna éagsúla a thaisceadh i bpas amháin, nó le spriocanna dúblacha, is féidir bratuithe níos tibhe a bhaint amach i bpas amháin.

Cinntear aonfhoirmeacht san ais eile, ingearach leis an treo scanadh pailléid, trí fheidhmíocht an chatóid, lena n -áirítear, go háirithe do shaincheisteanna sputtering imoibríoch, a d'fhéadfadh a bheith ann. Le maighnéadáin, is féidir le socrúchán agus neart na maighnéad tionchar a imirt ar úsáid sprice agus aonfhoirmeacht bhunúsach, agus is iondúil go mbíonn trádáil idir an dá ghné sin. Ar feadh lár fad na sprice, bíonn aonfhoirmeacht agus úsáid araon go maith go leor de ghnáth, ach ag na foircinn, nuair a thiocfaidh an cosán creimthe "rás -rian" thart, tiocfaidh an ráta sil -leagain agus tiús scannán mar thoradh air mura ndéantar maighnéid a choigeartú chun cúiteamh chuig an bpláta tacaíochta).

Tá an -tairbhe ag baint le próiseáil eireaball sna córais il -phailléid níos mó freisin maidir le húsáid sprice ábhair i dtéarmaí níos mó a fháil ar do fhoshraitheanna agus níos lú ar sciatha agus ar chodanna seomra eile. I gcóras pailléid amháin, is é an pailléid luaidhe an t -aon phailléid, agus ós rud é go bhfuil sé ag fágáil an chrios sil -leagain, caithfidh sé leanúint ar aghaidh ag scanadh go dtí go bhfuil an imeall trailing - an t -eireaball - an bealach amach, agus an sprioc fós ag dó an t -am ar fad, rud a dhéanann cuid den sprioc -ábhar a dhramhaíl go héifeachtach.

Sa chur chuige barr go dtí an eireaball, níl ach bearna ghearr idir eireaball amháin agus an chéad cheann eile agus ansin tá an t -ábhar ag dul ar aghaidh arís ar phailléad "beo" atá lán de fhoshraitheanna, le pailléad nua ag dul isteach de réir mar a théann an phailléid as an gcrios sil -leagain.

Ag deireadh ard na solúbthachta, is féidir le comhlaí scoilt a chur le rannóga próisis a leithlisiú, in éineacht le rialú uathoibrithe sofaisticiúla, gur féidir rannóga difriúla a oibriú go comhuaineach le timpeallachtaí gáis éagsúla (meascán brú agus gáis), b'fhéidir ag sputtering sraithe amháin ar phailléad eile i roinn eile, agus is é atá i gceist le sraith eile i roinn eile. Is féidir córais sputter in-líne a oiriúnú chun freastal ar réimse leathan riachtanas próisis agus méideanna foshraithe.