Conas a rialaíonn an Meaisín Cumhdach Ion Il-stua ráta taisce agus aonfhoirmeacht tiús scannáin trasna céimseataí casta?

Dearadh Catóide agus Bainistiú Sprioc-Chreimeadh
Tá an Meaisín Cumhdach Ion Il-stua ag brath ar il-spriocanna catóide chun stuanna leictreacha ardfhuinnimh a ghiniúint a vaporizes ábhar brataithe, ag táirgeadh plasma iain miotail a chomhdhlúthaíonn an tsubstráit. Tá socrú, líon agus céimseata na gcatóidí seo deartha go straitéiseach chun clúdach dromchla an tsubstráit a uasmhéadú agus sil-leagan míchothrom a íoslaghdú. Téann gach catóide faoi chreimeadh rialaithe le linn an phróisis bhrataithe, rud a d’fhéadfadh éagsúlachtaí logánta sa ráta sil-leagan a chruthú mura ndéantar é a bhainistiú. Ionchorpraíonn meaisíní chun cinn catóidí deighilte nó rothlaithe , córais stiúrtha stua, nó teorannú maighnéadach chun patrúin creimthe a rialú, ag cinntiú flux aonfhoirmeach d'ábhar galaithe ar fud gach réimse den tsubstráit. Trí shuíomh, déine agus fad gach stua a rialú go beacht, coinníonn an meaisín a ráta taisce comhsheasmhach , atá ríthábhachtach chun scannáin a tháirgeadh le tiús aonfhoirmeach, go háirithe ar dhromchlaí casta nó comhrianta.

Gluaisne agus Treoshuíomh Foshraith
Braitheann bratuithe aonfhoirmeacha ar gheoiméadrachtaí casta go mór tairiscint tsubstráit . Is gnách go bhfostaíonn an Meaisín Cumhdach Ion Il-stua sealbhóirí pláinéadacha rothlacha, gléasanna tilting nó ascalacha, agus córais ghluaisne il-ais chun treoshuíomh an tsubstráit a athrú go leanúnach i gcoibhneas leis an bhflosc catóide. Cinntíonn an tairiscint dhinimiciúil seo go bhfaighidh gach dromchla - lena n-áirítear cuasáin cuasaithe, fo-ghearrthacha, imill agus coirnéil - nochtadh leordhóthanach don ábhar galaithe, rud a chuireann deireadh go héifeachtach le héifeachtaí scáthaithe a d'fhéadfadh a bheith ina chúis le réimsí tanaí nó míchothrom scannán. Déantar paraiméadair tairiscint amhail luas rothlaithe, uillinn tilt, am cónaithe, agus seicheamh tairiscint a ríomhchlárú go cúramach de réir mhéid, cruth an tsubstráit, agus líon na gcatóidí. I gcás comhpháirteanna an-chasta, cinntíonn tairiscint il-ais atá sioncronaithe le hoibríocht catóide go bhfuil fiú na céimseataí is dúshlánaí brataithe go haonfhoirmeach.

Optimization Paraiméadar Próisis
Tá an deposition rate and film uniformity are directly influenced by paraiméadair phróisis eochair lena n-áirítear sruth stua, voltas stua, fad bíge, agus brú cuasáin. Méadaíonn sruthanna stua ard an ráta galúcháin ábhair, agus rialaíonn coigeartuithe voltais fuinneamh cinéiteach na n-ian galaithe, rud a chuireann isteach ar a n-trajectory agus a greamaitheacht leis an tsubstráit. Ciallaíonn brú aireagail, a choinnítear go hiondúil ag leibhéil arda folúis, tionchar ar fhad cosáin saora na n-ian agus laghdaítear imbhuailtí a d’fhéadfadh macra-cháithníní nach dteastaíonn nó sil-leagan aonfhoirmeach a tháirgeadh. I bpróisis brataithe imoibríocha, tá rialú beacht ar shreabhadh agus ar chomhdhéanamh gáis ríthábhachtach freisin chun stoichiometry agus comhsheasmhacht scannáin a chothabháil. Tá meaisíní nua-aimseartha feistithe le córais rialaithe ríomhairithe a dhéanann monatóireacht ar na paraiméadair seo i bhfíor-am, agus iad a choigeartú go dinimiciúil chun luaineachtaí de bharr caitheamh catóide, suíomh an tsubstráit, nó éagobhsaíocht plasma a chúiteamh.

Bainistiú Plasma agus Flosc Gal
Chun tiús comhsheasmhach a bhaint amach ar fud geoiméadracht casta, úsáideann an Meaisín Cumhdach Ion Il-stua teicnící iata plasma, stiúrtha maighnéadach, agus sciath sciath chun an t-ábhar vaporized a threorú i dtreo an tsubstráit go cothrom. Cuireann na gnéithe seo cosc ​​​​ar bhraisliú ábhar agus íoslaghdaíonn siad giniúint macrocháithníní, ar féidir leo lochtanna dromchla nó spotaí tiubh logánta a chruthú. Cinntíonn bainistíocht flosc go bhfuil an sil-leagan aonfhoirmeach trasna limistéir chomhréidh, imeall, agus gnéithe casta, ag soláthar comhsheasmhacht feidhmiúil agus aeistéitiúil araon. I gcás bratuithe ilchiseal nó grádaithe, ceadaíonn rialú beacht plasma comhéadain chruinn idir sraitheanna, atá ríthábhachtach d'airíonna meicniúla mar chruas, friotaíocht caitheamh, nó cobhsaíocht theirmeach.

Córais Monatóireachta agus Aiseolais Fíor-Ama
Ionchorpraíonn Ardmheaisíní Il-stua Cumhdach ian uirlisí monatóireachta in-situ amhail miochothromaíochtaí criostail Grianchloch, braiteoirí astaithe optúla, nó córais tomhais tiús atá bunaithe ar léasair. Rianaíonn na braiteoirí seo ráta sil-leagan agus tiús scannáin trasna an tsubstráit le linn an phróisis brataithe. Cuirtear sonraí ó na córais seo isteach i mbogearraí rialaithe an mheaisín, rud a chumasaíonn coigeartuithe fíor-ama cumhacht catóide, tairiscint tsubstráit, nó sreabhadh gáis chun sil-leagan sciath aonfhoirmeach a choinneáil. Ligeann an lúb aiseolais seo d'oibreoirí diallais a bhrath agus a cheartú láithreach, ag cinntiú go bhfuil ard-atrialltacht agus beachtas ann, go háirithe nuair a bhíonn foshraitheanna iolracha nó geoiméadracht casta á bratú i dtimpeallachtaí táirgthe ardtoirte.