Cén tionchar a bhíonn ag an mbrú oibriúcháin laistigh den mheaisín sciath sputtering maighnéad ar cháilíocht agus ar aonfhoirmeacht an sciath a chuirtear i bhfeidhm ar fhoshraitheanna?

Tá ról díreach ag brú oibriúcháin maidir le ráta sil -leagan an ábhair sputtered a rialú ar an tsubstráit. Ag brúnna ísle, tá an meán -chonair saor in aisce - an fad a thaistealaíonn adamh sputtered roimh imbhualadh le cáithníní eile - a thagann níos faide. Ciallaíonn sé seo gur féidir le cáithníní sputtered taisteal níos mó agus go díreach ón sprioc go dtí an tsubstráit, ag méadú éifeachtúlacht an phróisis sil -leagain. Is é an toradh a bhíonn air seo ná ráta sil -leagain níos tapúla. Mar sin féin, de réir mar a mhéadaíonn an brú, méadaíonn minicíocht na n -imbhuailtí idir cáithníní sputtered agus móilíní gáis freisin. Fágann na himbhuailtí breise seo go gcaillfidh na hadaimh sputtered fuinneamh nó go n -athraíonn siad a gconair, ag laghdú treo an phróisis sil -leagain agus ag moilliú an ráta sil -leagain. Tá an t -athrú seo sa ráta sil -leagain le brú ríthábhachtach do mhonaróirí tiús na mbratuithe a rialú, ag cinntiú go gcomhlíonann siad riachtanais shonracha d'iarratais éagsúla.

Tá tionchar mór ag an mbrú oibriúcháin ar aonfhoirmeacht an sciath. Ag brúnna níos ísle, ceadaíonn líon laghdaithe na n -imbhuailtí móilín gáis cáithníní sputtered taisteal le fuinneamh níos treo, agus mar thoradh air sin tá sil -leagan fiú comhsheasmhach ar dhromchla an tsubstráit. I gcodarsnacht leis sin, ag brúnna níos airde, déantar níos mó imbhuailtí ar na cáithníní sputtered le móilíní gáis, rud a fhéadann a bheith ina gcúis leo go scaipfidh siad i dtreonna éagsúla sula sroicheann siad an tsubstráit. Mar thoradh ar an scaipeadh seo tá sciath níos lú aonfhoirmeach, le héagsúlachtaí i dtiús trasna an dromchla. D'fhéadfadh coinníollacha ardbhrú a bheith mar thoradh ar fhoirmiú scannáin neamh-éide, ar féidir leo tionchar a imirt ar fheidhmíocht an sciath in iarratais a dteastaíonn cruinneas ard uathu, amhail feistí leathsheoltóra nó bratuithe optúla.

Tá dlús plasma agus cobhsaíocht ceangailte go dlúth leis an mbrú oibriúcháin sa seomra sputtering. Ag brú ró -íseal, is féidir leis a bheith dúshlánach plasma cobhsaí a choinneáil, de réir mar a laghdaíonn ráta ianúcháin an gháis, rud a fhágann go bhfuil an próiseas sputtering corráideach agus neamhiontaofa. D'fhéadfadh éagobhsaíocht sa phlasma a bheith mar thoradh ar sputtering neamhréireach, le héagsúlachtaí i bhfuinneamh na gcáithníní sputtered agus foirmiú scannán míchothrom. Déanann brúnna níos airde, áfach, an plasma a chobhsú trí líon na móilíní gáis is féidir a ianú a mhéadú. Cinntíonn plasma níos cobhsaí sputtering níos rialaithe, rud a cheadaíonn comhsheasmhacht níos fearr i sil -leagan scannán. Mar sin féin, is féidir le brúnna atá ró-ard a bheith ina gcúis leis an bplasma a bheith ró-dhlúth, as a leanann imoibrithe céim gáis agus díghrádú féideartha ar chaighdeán an scannáin taiscthe.

Tá dlús scannáin agus microstruchtúr an sciath taiscthe an -íogair do bhrú. Ag brúnna ísle, tagann na cáithníní sputtered ar an tsubstráit le fuinneamh níos airde, a cheadaíonn dóibh idirleathadh níos éasca ar thuirlingt. Mar thoradh ar an idirleathadh méadaithe seo tá sciath níos dlúithe, níos dlúithe le greamaitheacht níos fearr leis an tsubstráit. Is iondúil go dtaispeánann sciath níos dlúithe airíonna meicniúla níos fearr, amhail cruas níos airde, friotaíocht a chaitheamh níos fearr, agus neart greamaitheachta feabhsaithe. I gcodarsnacht leis sin, laghdaíonn brúnna níos airde fuinneamh na gcáithníní atá ag teacht chun cinn mar gheall ar imbhuailtí níos minice le móilíní gáis. Is é an toradh a bhíonn air seo ná sciath nach bhfuil chomh dlúth, níos póiriúla, ar féidir leis tionchar diúltach a imirt ar airíonna meicniúla an scannáin, amhail neart greamaitheachta níos ísle agus marthanacht laghdaithe. D'fhéadfadh go mbeadh géara níos mó mar thoradh ar sciath níos póiriúla, rud a d'fhéadfadh a bheith neamh -inmhianaithe in iarratais áirithe a dteastaíonn bratuithe réidh nó optúla uathu.

Tá tionchar mór ag brú oibriúcháin ar mhoirfeolaíocht an sciath, lena n -áirítear a struchtúr géire agus gráin. Ag brúnna níos ísle, taisctear na hadaimh nó na móilíní sputtered le fuinneamh níos airde, rud a fhágann go mbíonn gráin níos lú agus scannán níos fusa, níos aonfhoirmeacha. Tá sé seo tairbheach chun bratuithe ardfheidhmíochta a bhaint amach, amhail iad siúd a úsáidtear i scannáin optúla nó i gcealla gréine tanaí scannáin, áit a bhfuil aonfhoirmeacht agus réidh ríthábhachtach. Ag brúnna níos airde, is féidir le grán níos mó agus moirfeolaíocht dromchla níos géire a bheith mar thoradh ar líon méadaithe na n -imbhuailtí. Féadann sé seo a bheith ina chúis le bratuithe le gar -dhromchla méadaithe, a d'fhéadfadh a bheith inghlactha nó fiú inmhianaithe in iarratais áirithe, amhail catalaígh nó bratuithe maisiúla, ach d'fhéadfadh sé a bheith ina gcúis le saincheisteanna i bhfeidhmchláir bheachtais ina bhfuil tosaíocht réidh.

Magnetron Meaisín Cumhdach Sputtering $ $