Cén chaoi a bhfuil teocht agus brú rialaithe an mheaisín PVD le linn an phróisis sciath chun a chinntiú go mbaintear amach na hairíonna ábhartha atá ag teastáil?

I a Meaisín sciath PVD , Tá rialú teochta ríthábhachtach don tsubstráit agus don ábhar sciath araon. Ní mór an teocht foshraithe a rialú go cúramach chun an greamaitheacht is fearr a chinntiú agus chun aon damáiste teirmeach do chodanna íogaire a chosc. De ghnáth, coinnítear an teocht idir 100 ° C agus 500 ° C ag brath ar an ábhar atá brataithe. I gcás miotail, d'fhéadfadh go mbeadh gá le teochtaí níos airde chun greamaitheacht agus cáilíocht scannáin níos fearr a chur chun cinn, agus teastaíonn teochtaí níos ísle ó ábhair níos íogaire mar phlaistigh chun warping nó díghrádú a chosc. Is minic a úsáidtear eilimintí téimh nó sealbhóirí foshraithe laistigh den seomra chun é seo a rialú, rud a fhágann gur féidir le rialachán beacht teochta na coinníollacha cearta don phróiseas sil -leagain a choinneáil. Ar an gcaoi chéanna, déantar an t -ábhar sciath (mar shampla miotail nó ceirmeach) a ghalú sa fhoinse galúcháin, áit a gcinntíonn cothabháil foinse teasa leordhóthanach go ndéantar an t -ábhar a ghalú ag ráta comhsheasmhach, ag cinntiú aonfhoirmeacht i dtiús agus i gcáilíocht an sciath.

Is fachtóir ríthábhachtach eile é an brú seomra folúis taobh istigh den mheaisín sciath PVD chun na hairíonna sciath atá ag teastáil a bhaint amach. Is iondúil go dtarlaíonn próisis PVD ag brúnna ísle (idir 10^-3 go 10^-7 Torr), agus brú á rialú ag úsáid caidéal folúis chun an timpeallacht is fearr a chruthú don sil-leagan. Ní mór an brú a rialú chun a chinntiú go mbeidh ianú ceart gáis, rud atá ríthábhachtach chun plasma seasmhach a chruthú a chuidíonn le cloí leis an ábhar galraithe ar an tsubstráit. Má tá an brú ró -íseal, ní bheidh dóthain ianúcháin ann, agus mar thoradh air sin beidh droch -ghreamaitheacht agus lochtanna sciath. Os a choinne sin, má tá an brú ró -ard, scaipfidh na cáithníní vaporized, rud a chruthóidh droch -chaighdeán scannáin, níos lú aonfhoirmeachta, agus lochtanna féideartha. Is iondúil go ndéantar an brú a choigeartú bunaithe ar an gcineál próisis PVD atá á úsáid, mar shampla sputtering nó galú, agus is féidir leis a bheith éagsúil de réir na saintréithe sciath inmhianaithe.

Is é an ráta sil -leagain - an luas ag a ndéantar an t -ábhar brataithe a thaisceadh ar an tsubstráit - a rialú trí an teocht agus an brú a choigeartú le linn an phróisis sciath. Ag teochtaí níos ísle, d'fhéadfadh an ráta sil -leagain a bheith níos moille, ag ligean do sciath níos fusa agus níos aonfhoirmeacha. Ar an láimh eile, is féidir le teochtaí níos airde an ráta sil -leagain a mhéadú, ach ní mór é a chothromú chun saincheisteanna cosúil le strus scannán nó foirmiú microstruchtúir neamh -inmhianaithe a sheachaint. Is féidir le brú an chomhshaoil ​​tionchar a imirt ar an ráta sil -leagain freisin. Mar thoradh ar bhrúnna níos ísle tá rátaí galraithe agus sil -leagain níos tapúla, ach moillíonn brúnna níos airde an ráta, rud a fhágann go gceadaíonn sé rialú níos fearr ar thiús agus comhsheasmhacht sciath.

I go leor próiseas PVD, go háirithe i sputtering maighnéada, tá ról tábhachtach ag plasma sa sil -leagan. Gintear plasma cobhsaí tríd an ngás sa seomra a ianú faoi bhrú íseal. Tá an teocht agus an rialú brú ríthábhachtach chun stát plasma comhsheasmhach agus cobhsaí a ghiniúint. Cabhraíonn an plasma seo le fuinneamh na gcáithníní vaporized a fheabhsú, rud a chuireann ar a gcumas banna níos éifeachtaí a dhéanamh le dromchla an tsubstráit. Is féidir leis an iomarca brú an plasma a dhéanamh éagobhsaí, as a dtiocfaidh scannán neamhréireach, agus d'fhéadfadh brú ró -íseal a bheith mar thoradh ar bhrú, ag laghdú cáilíocht agus greamaitheacht an sciath. $ $