Sputtering maighnéadair a chur i bhfeidhm

Cur i bhfeidhm Sputtering Magnetron

Is é sputtering maighnéada an modh éifeachtach le haghaidh sil -leagain ísealteochta i dteicneolaíocht PVD. Le linn sputtering maighnéada, déantar na leictreoin a shú isteach ag an gclúdach páirce dorcha nó ag an anóid atá ceangailte go speisialta, agus tá teocht an tsubstráit a fhaightear níos ísle ná an teocht thraidisiúnta. Taisctear ábhair íogaire teochta eile mar fhoshraitheanna. I 1998, mhol Teel Coating Ltd. an teicneolaíocht a bhaineann le bratuithe stáin agus TICN ardcháilíochta a thaisceadh ag sputtering maighnéad ag teocht íseal, agus d'fhéadfaí teocht an tsubstráit a ísliú go níos lú ná 70 ° C, rud a leathnóidh raon feidhme na gcótaí comhchosúla. Le blianta beaga anuas, d'éirigh le hOllscoil Loughborough sa Ríocht Aontaithe an teocht fhoshraith a laghdú go rathúil le linn maighnéadaire ag sputtering ó 350 go 500 ° C go dtí thart ar 150 ° C ag teocht an tseomra, agus a chuir bratuithe stáin agus CRN i bhfeidhm go rathúil ar dhromchlaí múnlaí fiacla saorga agus go gcuireann an ceann teagmhála teagmhála i bhfeidhm go 10 n -uaire. Is féidir a fheiceáil go bhfuil an taighde ar mhodhanna agus ar phróisis sil -leagain íseal an -brí agus gealladh fúthu.