Cén chaoi a gcinntíonn an Magnetron Sputtering Machine rialú beacht ar an ráta sil -leagain agus ar thréithe scannáin?

Tá tionchar mór ag an gcumhacht a sholáthraítear ar an sprioc sputtering ar an ráta sil -leagain, agus bíonn éagsúlacht ag dul i bhfeidhm go díreach ar dhéine agus ar éifeachtúlacht an phróisis sputtering. Tríd an ionchur cumhachta a choigeartú, is féidir le hoibreoirí an méid fuinnimh a aistrítear chuig an sprioc -ábhar a rialú. Mar thoradh ar leibhéil chumhachta níos airde tá toradh sputtering níos airde, rud a chiallaíonn go scaoiltear níos mó ábhair ón sprioc agus go gcuirtear i dtaisce é ar an tsubstráit, ag méadú an ráta sil -leagain. Os a choinne sin, úsáidtear leibhéil cumhachta níos ísle nuair a bhíonn gá le rialú níos míne, ag cinntiú bratuithe níos tanaí le cruinneas níos airde. Is féidir le húsáid cumhachta pulsed (soláthar cumhachta ailtéarnach) an sprioc -róthéamh a íoslaghdú, caighdeán na scannán a fheabhsú, agus smacht níos fearr a sholáthar ar airíonna fisiceacha an scannáin.

Feidhmíonn an gás próisis, an argón nó an meascán de gháis imoibríocha cosúil le hocsaigin nó nítrigin, mar mheán le haghaidh sputtering. Déantar ráta sreafa agus brú an gháis taobh istigh den seomra folúis a rialú go beacht chun an leibhéal ceart ianaithe a choinneáil laistigh den phlasma. Cinntíonn an próiseas seo go bhfuil an toradh sputtering comhsheasmhach agus go ndéantar an t -ábhar a scaoiltear ón sprioc a dháileadh go haonfhoirmeach ar fud an tsubstráit. Bíonn tionchar ag an mbrú gáis freisin ar fhuinneamh na n -ian atá ag bombardú an sprioc -ábhair, a théann i bhfeidhm ar ráta an bhaint ábhair, ar nádúr an phlasma, agus ar thréithe deiridh an scannáin tanaí, amhail a dhlús, a ghreamaitheacht, agus a réidh.

An Magnetron Meaisín Cumhdach Sputtering Baineann sé úsáid as réimse maighnéadach chun leictreoin a ghabháil agus chun éifeachtúlacht ianúcháin plasma a fheabhsú. Gintear an réimse maighnéadach seo le maighnéada, atá suite go straitéiseach chun an t -idirghníomhaíocht idir an spriocábhar agus an plasma a bharrfheabhsú. Díríonn agus treisíonn cumraíocht maighnéada dea-dheartha agus treisíonn sé an plasma in aice leis an sprioc, ag méadú éifeachtúlachta sputtering agus ráta sil-leagain. Trí neart agus cumraíocht an réimse mhaighnéadaigh a choigeartú, is féidir an próiseas a bharrfheabhsú chun sciath seasmhach, ardcháilíochta a bhaint amach le caillteanas leictreon íoslaghdaithe agus éilliú laghdaithe ó cháithníní nach dteastaíonn.

Bíonn tionchar díreach ag comhdhéanamh ábhair na sprice sputtering ar thréithe na sil -leagan. Tá torthaí agus imoibríocht dhifriúil ag ábhair dhifriúla, mar mhiotail, cóimhiotail, nó criadóireacht, a théann i bhfeidhm ar aonfhoirmeacht agus ar cháilíocht an scannáin taiscthe. Le himeacht ama, déantar creimeadh ar dhromchla an sprioc -ábhair, a athraíonn na tréithe sputtering. Dá bhrí sin, tá sé riachtanach an sprioc a choinneáil i riocht maith chun sil -leagan aonfhoirmeach a chinntiú. Is féidir leis an dromchla sprice a athsholáthar nó a ghlanadh go rialta cosc ​​a chur ar phatrúin chreimthe mhíchothrom agus rátaí sputtering comhsheasmhacha a chothabháil, rud a chinnteoidh aonfhoirmeacht i dtiús agus i gcomhdhéanamh an sciath.

Tá ról ríthábhachtach ag teocht an tsubstráit i microstruchtúr agus i ngreamaitheacht an scannáin taiscthe. Má tá an tsubstráit ró -fhuar, ní fhéadfaidh an scannán cloí i gceart, agus mar thoradh air sin tá droch -nascadh agus dí -mhaolú scannáin. Os a choinne sin, má tá teocht an tsubstráit ró -ard, d'fhéadfadh an scannán a bheith ró -gharbh nó má bhíonn strus neamh -inmhianaithe ann. Nuair a choinnítear an tsubstráit ag raon teochta is fearr is féidir an struchtúr criostalach atá ag teastáil a chur chun cinn, ag feabhsú airíonna meicniúla agus cáilíochtaí optúla an scannáin. Baintear rialú teochta amach trí chórais téimh nó fuaraithe a úsáid, agus tá gá le coigeartú cúramach do gach feidhmchlár ar leith, mar shampla nuair a bhíonn scannáin tanaí á dtaisceadh le haghaidh leictreonaic nó cótaí optúla.

Tá córais mhonatóireachta sofaisticiúla feistithe ag meaisíní sciath nua -aimseartha maighnéada -sputtering a thomhaiseann príomhthréithe scannáin go leanúnach, amhail tiús, aonfhoirmeacht, agus garness dromchla. Baineann na córais seo úsáid as braiteoirí éagsúla, lena n-áirítear miocróidí criostail Grianchloch, braiteoirí optúla, agus próifíliméadair, chun aiseolas fíor-ama a sholáthar ar an bpróiseas sil-leagain. Trí anailís leanúnach a dhéanamh ar na sonraí seo, is féidir le hoibreoirí paraiméadair phróisis a choigeartú, amhail leibhéil chumhachta, sreabhadh gáis, agus suíomh foshraithe, chun a chinntiú go mbaintear amach na saintréithe scannáin atá ag teastáil. Laghdaíonn úsáid na gcóras rialaithe uathoibrithe earráid dhaonna, méadaíonn sé in -atrialltacht, agus cuireann sé le comhsheasmhacht an phróisis fhoriomlán.