Conas a bhainistíonn an meaisín sciath bhfolús deireadh a chur le hábhar salaithe nó neamhíonachtaí le linn an phróisis sciath?

Timpeallacht Fholúis
Tá an meaisín sciath bhfolús oibríonn sé i dtimpeallacht ísealbhrú, atá ar cheann de na gnéithe is tábhachtaí chun a chinntiú go mbaintear ábhar salaithe. Trí fholús a chruthú laistigh den seomra sciath, íoslaghdaíonn an córas láithreacht aer, gal uisce, agus gáis eile a d'fhéadfadh cur isteach ar an bpróiseas brataithe. I bhfolús, laghdaítear go mór an acmhainneacht le haghaidh ocsaídiúcháin, éillithe, agus imoibrithe ceimiceacha le gáis atmaisféaracha (cosúil le ocsaigin nó nítrigin). Cuireann an timpeallacht rialaithe seo cosc ​​​​ar cháithníní nach dteastaíonn a thabhairt isteach a d'fhéadfadh cáilíocht an bhrataithe a dhíghrádú. Tá laghdú na n-ábhar salaithe atmaisféarach seo ríthábhachtach i bpróisis cosúil le sputtering nó galú, nuair is féidir le leibhéil nóiméid fiú d'eisíontais tionchar diúltach a imirt ar fheidhmíocht an bhrataithe.

Réamhchóireáil agus Glanadh Foshraitheanna
Sula gcuirtear tús leis an bpróiseas brataithe, téann foshraitheanna (na hábhair atá le bratú) faoi mhodhanna réamhchóireála éagsúla chun a chinntiú go bhfuil siad sanó ó éillithe. Tá sé ríthábhachtach foshraitheanna a ghlanadh chun sciath ardcháilíochta a bhaint amach, mar is féidir le hiarmhair bheaga, amhail olaí, méarloirg, deannach nó ábhair shalaithe nógánacha, cur isteach ar ghreamaitheacht an bhrataithe. Áirítear le modhanna réamhchóireála coitianta glanadh plasma , i gcás ina n-úsáidtear gás ianaithe (plasma) chun iarmhair nógánacha, olaí, agus ábhair shalaithe eile a bhaint as an dromchla, rud a fhágann go bhfuil sé an-imoibríoch agus réidh le haghaidh brataithe. Ina theannta sin, glanadh ultrasonaic a úsáidtear i roinnt córas, ag baint úsáide as tonnta fuaime ardmhinicíochta chun ábhar cáithníneach a chorraíl agus a bhaint as an tsubstráit. Glanadh ceimiceach féadfar modhanna, a úsáideann tuaslagóirí nó glantaigh, a chur i bhfeidhm freisin chun a chinntiú go bhfuil an dromchla saor ó aon olaí nó iarmhair orgánacha a d’fhéadfadh cur isteach ar an bpróiseas sil-leagan.

Eitseáil Sputter nó Eitseáil ian
Chun a chinntiú go bhfuil dromchla an tsubstráit chomh glan agus is féidir roimh an sciath, eitseáil sputter or eitseáil ian úsáidtear teicnící go minic. I eitseáil sputter, dírítear iain ardfhuinnimh ar dhromchla an tsubstráit, ag scaoileadh go héifeachtach aon ábhar salaithe atá fágtha, mar shampla salachar nó ocsaídí, agus an dromchla a ghlanadh ag leibhéal micreascópach. Ní hamháin go mbainfidh an próiseas seo ábhair shalaithe fisiceacha ach cruthaíonn sé dromchla níos gairbhe agus níos imoibríoch go ceimiceach a fheabhsaíonn greamaitheacht an ábhair bhrataithe. Tá éifeacht glantacháin eitseála ian ríthábhachtach chun a chinntiú go ndéanann an sciath nasc láidir aonfhoirmeach leis an tsubstráit. Tá sé seo tábhachtach go háirithe d'fheidhmchláir ardchruinneas ina bhfuil cáilíocht greamaitheachta an bhrataithe ríthábhachtach le haghaidh marthanacht agus feidhmíocht fadtéarmach.

Caidéil Fholúis agus Córais Scagacháin
Tá an role of caidéal folúis is éard atá i meaisín brataithe timpeallacht ísealbhrú a choinneáil tríd an seomra aeir agus gáis eile a aslonnú go leanúnach, rud a fhágann go mbaintear ábhar salaithe as an seomra agus as na sruthanna ábhar isteach. Oibríonn na caidéil seo chun brú an atmaisféir taobh istigh den seomra a ísliú, rud a bhaintear comhdhúile so-ghalaithe orgánacha (VOCanna), taise, agus gáis eile a d'fhéadfadh cur isteach ar an bpróiseas sil-leagan. Ina theannta sin, tá an córas bhfolús feistithe le scagairí ultra-fíneáil agus réamhscagairí , a chuireann cosc ar cháithníní, deannach agus neamhíonachtaí eile dul isteach sa seomra. Tá na scagairí seo ríthábhachtach go háirithe chun éilliú ón timpeallacht sheachtrach nó ó na hábhair a úsáidtear sa phróiseas a chosc, mar spriocábhair nó gáis.

Glanadh sa seomra
Tá an vacuum coating machine often incorporates a ag glanadh chéim lena linn a bhfuil gáis támha, mar shampla argón or nítrigin , a thabhairt isteach sa seomra. Is é an cuspóir atá le glantachán ná atmaisféar glan, támh a chur in ionad aon aer nó taise iarmharach a fhágtar sa seomra. Cuidíonn sé seo le haon ábhar salaithe nó gáis a d’fhéadfadh a bheith gafa sa chóras tar éis an seomra a bheith séalaithe nó tar éis láimhsiú ábhair a bhaint. Is céim ríthábhachtach é an próiseas glantacháin chun an córas a ullmhú sula gcuirtear tús le sil-leagan, toisc go gcinntíonn sé go bhfuil an t-atmaisféar seomra chomh glan agus saor ó ábhar salaithe agus is féidir. Ina theannta sin, cuidíonn glantachán le haon cháithníní a d'fhéadfadh a bheith scaoilte le linn láimhseáil an tsubstráit a bhaint, rud a laghdaíonn an baol éillithe le linn an phróisis brataithe iarbhír.

Íonacht Ábhar Sprioc
Tá an quality of the ábhar sprice a úsáidtear sa phróiseas sciath tionchar díreach ar íonacht an sciath deiridh. Roghnaítear spriocábhair ardíonachta chun tabhairt isteach neamhíonachtaí le linn sil-leagan a íoslaghdú. Mar shampla, nuair a úsáid sputtering or galú , roghnaítear na hábhair sprice (cosúil le miotail, criadóireacht, nó polaiméirí) go cúramach chun a chinntiú go bhfuil siad saor ó éillithe a d'fhéadfadh tionchar a imirt ar fheidhmíocht nó ar ghreamaitheacht na sciath. D’fhéadfaí neamhíonachtaí sa spriocábhar a thaisceadh in éineacht leis an ábhar brataithe atá beartaithe, rud a fhágann go mbeadh bratú deiridh eisíon nó míchothrom ann. Íoslaghdaítear an baol éillithe trí sprioc-ábhar ardchaighdeáin a úsáid agus cuidíonn sé le sláine an phróisis brataithe a choinneáil.