Cad iad na cineálacha maighnéadanna meánmhinicíochta sputtering i meaisín sciath i bhfolús？

Sputtering Magnetron do cóta folúis San áireamh tá go leor cineálacha. Tá prionsabail oibre éagsúla agus rudaí feidhmithe ag gach ceann acu. Ach tá rud amháin comónta ann: déanann an idirghníomhaíocht idir an réimse maighnéadach agus na leictreoin na leictreoin bíseach timpeall an dromchla sprice, rud a mhéadaíonn an dóchúlacht go mbeidh leictreoin ag bualadh an gháis argón chun ian a tháirgeadh. Imbhuaileann na hiain ghinte leis an sprioc -dhromchla faoi ghníomh an réimse leictrigh chun an t -ábhar sprice a sputter. Le blianta beaga anuas d'fhorbairt, tá gach duine tar éis glacadh le maighnéid bhuana de réir a chéile, agus is annamh a bhain siad úsáid as maighnéid chorna.
Tá an spriocfhoinse roinnte i gcineálacha cothroma agus neamhchothromaithe. Tá sciath aonfhoirmeach ag an spriocfhoinse chothromaithe, agus tá fórsa nasctha láidir idir an sprioc -fhoinse neamhchothromaithe idir an scannán sciath agus an tsubstráit. Baintear úsáid as foinsí sprice cothroma den chuid is mó le haghaidh scannáin optúla leathsheoltóra, agus úsáidtear foinsí neamhchothromaithe den chuid is mó chun scannáin mhaisiúla a chaitheamh.
Beag beann ar chothromaíocht nó ar neamhchothromaíocht, má tá an maighnéad ina stad, is é a thréithe réimse maighnéadaigh a chinneann go bhfuil an ráta úsáidí ginearálta níos lú ná 30%. D'fhonn ráta úsáide an spriocábhair a mhéadú, is féidir réimse maighnéadach rothlach a úsáid. Mar sin féin, éilíonn réimse maighnéadach rothlach meicníocht rothlach, agus caithfear an ráta sputtering a laghdú. Úsáidtear réimsí maighnéadacha rothlacha den chuid is mó le haghaidh spriocanna móra nó costasacha. Cosúil le scannán leathsheoltóra sputtering. Maidir le trealamh beag agus trealamh tionsclaíoch ginearálta, is minic a úsáidtear spriocfhoinse atá ina stad le réimse maighnéadach.

Tá sé éasca miotail agus cóimhiotail a sputter a sputter le spriocfhoinse maighnéada, agus tá sé éasca adhaint agus sputter a dhéanamh. Tá sé seo toisc gur féidir leis an sprioc (catóid), plasma, agus seomra folúis na gcodanna splaraithe lúb a chruthú. Ach má tá an t -inslitheoir ar nós ceirmeach sputtered, tá an ciorcad briste. Mar sin úsáideann daoine soláthairtí cumhachta ardmhinicíochta agus cuireann siad toilleoirí láidre leis an lúb. Ar an mbealach seo, éiríonn an t -ábhar sprice ina thoilleoir sa chiorcad inslithe. Mar sin féin, tá an soláthar cumhachta sputtering ardmhinicíochta costasach, tá an ráta sputtering an -bheag, agus tá an teicneolaíocht talún an -chasta, mar sin tá sé deacair glacadh leis ar scála mór. Chun an fhadhb seo a réiteach, cruthaíodh sputtering imoibríoch maighnéada. Is é sin, úsáidtear sprioc miotail, agus cuirtear argón agus gáis imoibríocha amhail nítrigin nó ocsaigin leis. Nuair a bhuaileann an t -ábhar sprice miotail an chuid mar gheall ar chomhshó fuinnimh, comhcheanglaíonn sé leis an ngás imoibriúcháin chun nítríd nó ocsaíd a fhoirmiú.
Is cosúil go bhfuil sé éasca inslitheoirí a sputtering imoibríoch a dhéanamh, ach tá an oibríocht iarbhír deacair. Is í an phríomhfhadhb ná go dtarlaíonn an t -imoibriú ní hamháin ar dhromchla na coda, ach freisin ar an anóid, ar dhromchla an tseomra folúis, agus ar dhromchla na foinse sprice. Cuirfidh sé seo faoi deara múchadh dóiteáin, an spriocfhoinse agus dromchla an tsaothair, srl. Is é an prionsabal ná go bhfuil péire d'fhoinsí sprice anóid agus catóid go frithpháirteach chun ocsaídiú nó nitridation a dhíothú ar dhromchla an anóid.
Tá an fuarú riachtanach do gach foinse (maighnéada, il-Arc, ian), mar go ndéantar cuid mhór den fhuinneamh a thiontú ina teas. Mura bhfuil aon fhuarú nó fuarú neamhleor ann, déanfaidh an teas seo an teocht foinse sprice níos mó ná 1,000 céim agus leáfaidh sé an spriocfhoinse iomlán.
Is minic a bhíonn feiste maighnéada an -chostasach, ach is furasta airgead a chaitheamh ar threalamh eile ar nós caidéal folúis, MFC, agus tomhas tiús scannán gan neamhaird a dhéanamh ar an spriocfhoinse. Fiú amháin an trealamh sputtering magnetron is fearr gan spriocfhoinse maith tá sé cosúil le dragan a tharraingt gan an tsúil a chríochnú.