Taighde ar theicneolaíocht sputtering maighnéad- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

1.1 voltas agus cumhacht

Má athraítear an voltas feidhmithe laistigh den raon brú inar féidir an gás a ianú, athróidh bacainní an phlasma sa chiorcad dá réir, rud a fhágann go n -athróidh an sruth sa ghás. Is féidir le hathrú an tsrutha sa ghás níos mó nó níos lú ian a chruthú a bhuail an sprioc chun an ráta sputtering a rialú.

Go ginearálta: Méadaíonn méadú an voltais an ráta ianúcháin. Méadóidh sé seo an sruth, mar sin beidh sé ina chúis le laghdú ar bhac. Nuair a mhéadaítear an voltas, méadóidh an laghdú ar an impedance go mór an sruth, is é sin, méadófar an chumhacht go mór. Má tá an brú gáis tairiseach agus an luas ag a mbogann an tsubstráit faoin bhfoinse sputtering tairiseach, ansin déantar an méid ábhair a thaisctear ar an tsubstráit a chinneadh ag an gcumhacht a chuirtear i bhfeidhm ar an gciorcad. Sa raon a úsáidtear i dtáirgí brataithe Vonadende, tá gaol líneach idir méadú cumhachta agus méadú ar ráta sputter.

1.2 Timpeallacht gháis

Rialaíonn an córas folúis agus an córas gáis próisis an timpeallacht gháis le chéile.

Ar an gcéad dul síos, tarraingíonn caidéal folúis an corp seomra go folús ard (thart ar 10-TORR). Gearrtar an gás próisis ansin ag an gcóras gáis próisis (lena n-áirítear rialtóirí brú agus rialaithe sreafa) chun an brú gáis a laghdú go dtí thart ar 2x10-3torr. Chun caighdeán ceart an scannáin chéanna a chinntiú, ní mór go mbeadh an gás próisis 99.995% íon. I sputtering imoibríoch, is féidir le meascadh méid beag de ghás támh (m.sh. argón) sa ghás imoibríoch an ráta sputtering a mhéadú.

1.3 brú gáis

Má laghdaítear an brú gáis go pointe áirithe méadaíonn sé an meán -chonair saor in aisce sna hiain, rud a ligeann do níos mó ian an catóid a bhualadh le go leor fuinnimh chun na cáithníní a bhombadh amach, ie an ráta sputtering a mhéadú. Taobh amuigh den phointe seo, laghdaíonn méid an ianúcháin mar gheall ar an iomarca móilíní a ghlacann páirt san imbhualadh, agus mar thoradh air sin tháinig laghdú ar an ráta sputtering. Má tá an brú gáis ró -íseal, tá an plasma múchta agus stadanna sputtering. Méadaíonn an brú gáis an ráta ianúcháin a mhéadú, ach laghdaíonn sé freisin an meánbhealach saor in aisce sna hadaimh sputtered, a laghdaíonn an ráta sputtering freisin. Tá an raon brú gáis ar féidir an t -uasráta sil -leagain a fháil ina leith an -chúng. Má tá sputtering imoibríoch á dhéanamh, ós rud é go gcaitear go leanúnach é, ní mór sputtering imoibríoch nua a athlíonadh ag ráta cuí chun ráta sil -leagain aonfhoirmeach a choinneáil.

1.4 luas tarchuir

Déantar gluaiseacht an tsubstráit ghloine faoin gcatóid trí thiomáint. Ligeann an luas íseal tiomána don ghloine dul níos faide sa raon catóide, a cheadaíonn do shraitheanna níos tibhe a thaisceadh. Mar sin féin, chun aonfhoirmeacht an chiseal scannáin a chinntiú, ní mór an luas tarchuir a choinneáil seasmhach.

Tá luasanna tarchuir tipiciúla sa limistéar sciath idir 0 agus 600 orlach in aghaidh an nóiméid (thart ar 0 go 15.24 méadar). Tá an raon oibriúcháin tipiciúil idir 90 agus 400 orlach in aghaidh an nóiméid (thart ar 2.286 go 10.16 méadar), ag brath ar an ábhar sciath, an chumhacht, an líon catóidí, agus an cineál sciath.

1.5 fad agus luas agus greamaitheacht

Maidir le huasráta sil -leagain agus greamaitheacht scannáin feabhsaithe, ba chóir an tsubstráit a chur chomh gar don chatóid agus is féidir gan dochar a dhéanamh don urscaoileadh glow féin. Tá ról ag na meánthóga saor in aisce de cháithníní sputtered agus móilíní gáis (agus ian) freisin. De réir mar a mhéadaíonn an fad idir an tsubstráit agus an catóide, méadaíonn an dóchúlacht go dtarlóidh imbhuailtí, ionas go laghdóidh cumas na gcáithníní sputtered an tsubstráit a bhaint amach. Dá bhrí sin, i gcás uasráta sil -leagain agus greamaitheacht is fearr, ní mór an tsubstráit a chur chomh gar don chatóid agus is féidir.

2 pharaiméadar córais

Bíonn tionchar ag go leor paraiméadair ar an bpróiseas. Is féidir cuid acu a athrú agus a rialú le linn oibriú próisis; Cé gur féidir daoine eile, cé go bhfuil siad socraithe, a rialú de ghnáth laistigh de raon áirithe roimh oibriú an phróisis. Is iad seo a leanas dhá pharaiméadar seasta tábhachtacha: struchtúr sprice agus réimse maighnéadach.

2.1 Struchtúr Sprioc

Tá a struchtúr inmheánach féin agus a threoshuíomh cáithníní ag gach sprioc aonair. Mar gheall ar dhifríochtaí i struchtúr inmheánach, d'fhéadfadh dhá sprioc a bhfuil an chuma orthu a bheith comhionann le rátaí sputtering an -éagsúil a thaispeáint. Ba chóir é seo a thabhairt faoi deara go háirithe in oibríochtaí sciath ina n -úsáidtear spriocanna nua nó difriúla. Má tá struchtúr comhchosúil ag gach bloic sprice le linn próiseála, is féidir leis an soláthar cumhachta a choigeartú, an chumhacht a mhéadú nó a laghdú de réir mar is gá, cúiteamh a thabhairt dó. Laistigh de shraith spriocanna, déantar rátaí sputtering éagsúla freisin mar gheall ar struchtúir cháithníní éagsúla. Is féidir leis an bpróiseas meaisínithe a bheith ina chúis le difríochtaí i struchtúr inmheánach na sprice, mar sin beidh difríochtaí i rátaí sputtering ag fiú spriocanna den chomhdhéanamh cóimhiotail céanna.

Ar an gcaoi chéanna, is féidir le paraiméadair amhail an struchtúr criostail, an struchtúr gráin, an cruas, an strus, agus na heisíontais den bhloc sprice difear a dhéanamh don ráta sputtering, a bhféadfadh lochtanna cosúil le streak a bheith mar thoradh ar an táirge. Éilíonn sé seo aird freisin le linn sciath. Mar sin féin, ní féidir an cás seo a réiteach ach amháin tríd an sprioc a athsholáthar.

Is é is cúis leis an gcrios ídithe sprice féin ná rátaí sputtering measartha íseal freisin. Ag an am seo, chun dea -chiseal scannáin a fháil, ní mór an luas nó an luas tarchuir a athchoigeartú. Toisc go bhfuil luas ríthábhachtach do tháirge, is é an caighdeán agus an coigeartú cuí cumhacht a mhéadú.

2.2 réimse maighnéadach

Caithfidh an réimse maighnéadach a úsáidtear chun na leictreoin thánaisteacha a ghabháil a bheith comhsheasmhach ar fud an dromchla sprice agus ba chóir go mbeadh neart an réimse mhaighnéadaigh oiriúnach. Táirgeann réimsí maighnéadacha neamh-aonfhoirmeacha sraitheanna neamh-aonfhoirmeacha. Mura bhfuil neart an réimse mhaighnéadaigh oiriúnach (m.sh. ró -íseal), ansin beidh rátaí sil -leagan scannán mall mar thoradh ar an neart céanna ar an réimse maighnéadach agus an sputtering féideartha ag an gceann bolt. Féadann sé seo an scannán a thruailliú. Má tá neart an réimse mhaighnéadaigh ró -ard, d'fhéadfadh an ráta sil -leagain a bheith an -ard ag an tús, ach tiocfaidh an ráta seo go tapa chuig leibhéal an -íseal mar gheall ar an limistéar eitseáilte. Mar an gcéanna, bíonn ráta úsáide sprice níos ísle mar thoradh ar an limistéar eitseáilte seo freisin.

2.3 Paraiméadair Athraitheacha

Le linn an phróisis sputtering, is féidir rialú dinimiciúil an phróisis a dhéanamh trí na paraiméadair seo a athrú. I measc na bparaiméadar athraitheacha seo tá: cumhacht, luas, cineál gáis agus brú.

3.1 Cumhacht

Tá a fhoinse cumhachta féin ag gach catóid. Ag brath ar mhéid an chatóid agus an dearadh córais, is féidir leis an gcumhacht a bheith éagsúil ó 0 go 150kW (ainmniúil). Is foinse reatha leanúnach é an soláthar cumhachta. Sa mhodh rialaithe cumhachta, socraítear an chumhacht agus déantar monatóireacht ar an voltas, agus coinnítear an chumhacht tairiseach tríd an sruth aschuir a athrú. Sa mhodh rialaithe reatha, socraítear agus déantar monatóireacht ar an sruth aschuir, agus is féidir an voltas a choigeartú. Dá airde an chumhacht a chuirtear i bhfeidhm, is ea is mó an ráta sil -leagain.

3.2 luas

Athróg eile is ea luas. Maidir le cótaí aon-chontúirteacha, is féidir luas tarchuir an chrios sciath a roghnú ó 0 go 600 orlach in aghaidh an nóiméid (thart ar 0 go 15.24 méadar). Maidir le cótaí dúbailte, is féidir luas tarchuir an chrios sciath a roghnú ó 0 go 200 orlach in aghaidh an nóiméid (thart ar 0 go 5.08 méadar). Ag ráta sputtering ar leith, léiríonn luasanna tiomána níos ísle scannáin níos tibhe a taisceadh.

3.3 Gás

Is é an athróg dheireanach gás. Is féidir dhá cheann de na trí ghás a roghnú lena n -úsáid mar an príomhghás agus an gás cúnta. Eatarthu, is féidir an cóimheas idir dhá cheann ar bith a choigeartú. Is féidir brú gáis a rialú idir 1 ~ 5x 10-3torr.

3.4 Gaol idir catóid/foshraith

Sa mheaisín sciath gloine cuartha, is é paraiméadar eile is féidir a choigeartú an fad idir an catóid agus an tsubstráit. Níl aon chatóid inchoigeartaithe i gcótaí gloine cothroma.

Galú teirmeach & Magnetron Meaisín Cumhdach Sputtering