Sputtering i bhfolús

1, Réamhrá

De ghnáth tagraíonn sé don mhaighnéad maighnéad, a bhaineann leis an modh sputtering ardteochta ardluais. Tá gás támh (AR) líonta i bhfolús agus cuirtear sruth díreach ardvoltais leis idir an cuas agus an sprioc miotail (catóid). De réir mar a spreagann an leictreon a ghintear trí urscaoileadh glow an gás támh chun ian dearfach argón a ghiniúint, bogann an ian dearfach i dtreo an sprioc chatóide ag luas ard, agus déantar an adamh sprice a bhlaiseadh amach, agus é a thaisceadh ar an tsubstráit phlaisteach chun scannán a dhéanamh. Déantúsóirí Meaisín Cumhdach Folús Galú na Síne

2, Prionsabal

Nuair a úsáidtear cáithníní ardfhuinnimh (ian dearfacha de ghnáth a luathatear le réimse leictreach) chun an dromchla soladach a bhombadh, an feiniméan a thugtar ar adaimh agus ar mhóilíní ar fhuinneamh cinéiteach an mhalartaithe dromchla soladach leis an eachtra ardcháithníní fuinnimh. Tá méid áirithe fuinnimh ag na hadaimh splancáilte (nó na braislí), is féidir iad a thaisceadh agus a chomhdhlúthú ar dhromchla an tsubstráit sholadach chun scannán tanaí a dhéanamh.

3. Riachtanais brú aeir le haghaidh sputtering folúis

Éilíonn sputtering i bhfolús go líonfar gás támh isteach i stát i bhfolús chun urscaoileadh glow a bhaint amach, agus tá an chéim fholús den phróiseas seo i staid reatha mhóilíneach.

4. Sreabhadh próisis

De réir thréithe an tsubstráit agus na sprice, is féidir an sciath sputter folúis a sputtered go díreach gan primer. Is féidir an sciath sputter i bhfolús a chur leis trí choigeartú a dhéanamh ar an sruth agus an t -am, ach ní féidir leis a bheith ró -tiubh, agus is é an tiús ginearálta 0.2 ~ 2um.