Cad iad maighnéadanna planar i mbratuithe PVD?

Is é atá sa mhaighnéad planar, go bunúsach, gur catóid mhód “dé -óid” clasaiceach é le harray buan maighnéad taobh thiar den chatóid. Socraítear an t -eagar maighnéad seo ionas go mbeidh an réimse maighnéadach gnáth don réimse leictreach i gcosán dúnta agus go gcruthaíonn sé "tollán" teorann a ghabhann leictreoin Meaisín sciath ionstraime leighis in aice le dromchla na sprice. Feabhsaíonn an gaisteoireacht leictreon seo éifeachtúlacht fhoirmiú ian gáis agus cuireann sé srian ar an bplasma scaoilte, rud a cheadaíonn sruth níos airde ag brú gáis níos ísle agus a bhaineann ráta sil -leagain níos airde amach le haghaidh bratuithe PVD (sil -leagan fisiciúil).

Baineadh úsáid as roinnt cruthanna catóide/sprice maighnéada difriúla, ach is ciorclach agus dronuilleogach iad an coiteann. Is minic a fhaightear maighnéid dhronuilleogacha i scála níos mó i gcórais sputtering maighnéadáin líne ina bhfuil foshraitheanna ag scanadh go líneach thar na spriocanna ar chineál éigin crios nó iompróra iompair. Is iondúil go bhfaightear maighnéid chiorclacha i gcórais bhaisc chontrárthacha scála níos lú nó i stáisiúin shleasa aonair in uirlisí braisle.

Cé gur féidir patrúin níos casta a dhéanamh, tá patrún maighnéad comhlárnach simplí ag catóidí - lena n -áirítear beagnach gach ciorclach agus cinn dhronuilleogach agus tá an t -ionad ina cuaille amháin agus an imlíne os coinne. Maidir leis an maighnéad ciorclach, bheadh ​​sé seo ina mhaighnéad cruinn measartha beag sa lár, agus maighnéad fáinne annular den pholaraíocht os coinne timpeall an taobh amuigh le bearna eatarthu.

Maidir leis an maighnéad dronuilleogach is iondúil gur barra é an t -ionad amháin síos an ais fhada (ach níos lú ná an fad iomlán) le "fál" dronuilleogach den pholaraíocht os coinne an bealach go léir timpeall air le bearna eatarthu. Is é an bhearna an áit a mbeidh an plasma, fáinne ciorclach sa mhaighnéad ciorclach nó "rás -rian" fadaithe sa dronuilleogach. Tabhair faoi deara, go háirithe i gcatóidí níos mó, gur féidir leis na maighnéid a bheith ina roinnt deighleoga aonair seachas píosa soladach amháin.
Ós rud é go n -úsáidtear an t -ábhar sciath catóide i PVD agus sputters ábhair, beidh tú in ann na patrúin chreimthe sainiúla seo a fheiceáil ar an sprioc -aghaidh. Go deimhin, i gcás aon fhadhbanna maighnéad ar nós atá ar iarraidh, mí -shínithe, nó bun os cionn, beidh an cosán creimthe neamhghnách agus is féidir leis seo a bheith ina léiriú maith diagnóiseach ar na fadhbanna sin laistigh de do chatóide sputtering maighnéad.

Caithfidh treoshuíomh cuaille na maighnéad aonair a bheith sa chaoi is go gcruthófar cuaille amháin ag an lár, agus go bhfuil an cuaille os coinne ag an imlíne. Tá cúpla bealach ann chun é seo a dhéanamh. Is é an coiteann ná cuaillí thuaidh / theas na maighnéad a shuiteáil ingearach le plána na sprice, cuaille amháin i dtreo na sprice agus an foirceann eile - an deireadh "saor in aisce" / an cuaille os coinne - atá idirlinne go maighnéadach chuig na maighnéid eile le pláta cuaille déanta as ábhar maighnéadach (feiriúil de ghnáth).
Dá bhrí sin, is cuaille oscailte ó thuaidh amháin é an ciorcad maighnéadach iomlán (nó slabhra maighnéid aonair mura bhfuil píosa amháin) lena cuaille os coinne ó dheas mar aon leis an ábhar maighnéadach le cuaille thuaidh eile, a bhfuil a cuaille ó dheas oscailte ansin. Tá an dá cheann oscailte seo os coinne na maighnéadacha aghaidh i dtreo na sprice agus na háirsí réimse maighnéadach a leanann os cionn dhromchla na sprice chun an gaisteoireacht leictreon a dhéanamh, plasma ag díriú tollán
Tabhair faoi deara go n -oibríonn an PVD Magnetron le hailíniú maighnéadach - is féidir leis an ionad a bheith ó thuaidh agus is féidir leis an imlíne a bheith ó dheas, nó vice versa. Mar sin féin, i gcórais sputtering mhaighnéada planar, tá go leor catóidí i gcóngaracht atá gar dá chéile, agus níl tú ag iarraidh páirceanna fáin thuaidh / theas a fhoirmiú idir na spriocanna.
Níor chóir go mbeadh na réimsí maighnéadacha maighnéadacha N/s seo ar aghaidheanna na spriocanna, ag cruthú na dtollán maighnéadach atá ag teastáil ann. Ar an gcúis seo, tá sé go hiomlán inmhianaithe a chinntiú go bhfuil na catóidí go léir i gcóras amháin ailínithe ar an mbealach céanna, go léir ó thuaidh ar a n -imlíne, nó go léir ó dheas ar a n -imlíne. Agus le haghaidh áiseanna a bhfuil ilchórais sputter acu, tá sé inmhianaithe freisin iad a dhéanamh mar an gcéanna ionas gur féidir catóidí a mhalartú go sábháilte idir na córais gan a bheith buartha faoi ailíniú maighnéad.