Cad iad na tosca a mbíonn tionchar acu ar nimhiú sprice i sputtering maighnéad- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Cad iad na tosca a mbíonn tionchar acu ar nimhiú sprice i sputtering maighnéad

Ar an gcéad dul síos, foirmiú comhdhúile miotail sprice

Sa phróiseas chun an comhdhúil a fhoirmiú ó dhromchla na sprice miotail tríd an bpróiseas sputtering imoibríoch, cá bhfuil an comhdhúil déanta? Toisc go n -imbhuaileann na cáithníní gáis imoibríocha leis na hadaimh ar an sprioc -dhromchla chun imoibriú ceimiceach a ghiniúint chun adaimh chomhdhúile a ghiniúint, imoibriú eisiteirmeach de ghnáth, cruthaíonn an t -imoibriú teas ní mór bealach a bheith ann chun seoladh a dhéanamh, nó ní féidir leis an imoibriú ceimiceach dul ar aghaidh. Tá sé dodhéanta aistriú teasa idir gáis faoi fholús, mar sin ní mór imoibrithe ceimiceacha a dhéanamh ar dhromchla soladach. Déantar táirgí sputtering imoibríoch ar dhromchlaí sprice, dromchlaí foshraithe, agus dromchlaí struchtúrtha eile. Is é an sprioc atá againn comhdhúile a ghiniúint ar dhromchla an tsubstráit. Is cur amú acmhainní é comhdhúile a ghiniúint ar dhromchlaí eile. Foinse adamh cumaisc a bhí i gceist le comhdhúile a ghiniúint ar an sprioc -dhromchla, ach ina dhiaidh sin bhí sé ina bhac ar níos mó adamh cumaisc a sholáthar go leanúnach.

Ar an dara dul síos, na tosca tionchair a bhaineann le nimhiú sprice

Is é an príomhfhachtóir a théann i bhfeidhm ar nimhiú sprice ná an cóimheas idir gáis imoibríoch agus gás a sputtering. Mar thoradh ar ghás iomarcach imoibríoch, beidh nimhiú dírithe air. Le linn an phróisis sputtering imoibríoch, tá an réigiún cainéal sputtering ar an dromchla sprice clúdaithe ag táirge imoibriúcháin an táirge imoibriúcháin chun an dromchla miotail a ath-nochtadh. Má tá an ráta foirmithe cumaisc níos mó ná an ráta ag a bhfuil an comhdhúil asbhainte, méadaíonn an t -achar atá clúdaithe ag an gcomhdhúil. I gcás cumhachta áirithe, méadaíonn méid an gháis imoibriúcháin a ghlacann páirt i bhfoirmiú an chomhdhúile, agus méadaíonn an ráta foirmithe cumaisc. Má mhéadaíonn an méid gáis imoibríoch go rómhór, méadaíonn an limistéar atá clúdaithe ag an gcomhdhúil. Mura féidir ráta sreafa an gháis imoibriúcháin a choigeartú in am, ní féidir an ráta méadaithe sa limistéar atá clúdaithe ag an gcomhdhúil a chosc, agus clúdófar an cainéal sputtering a thuilleadh ag an gcomhdhúil. Nuair a bhíonn an sprioc sputtering clúdaithe go hiomlán ag an gcomhdhúil nuair a dhéantar an sprioc a nimhiú go hiomlán.

Ar an tríú dul síos, feiniméan na nimhithe sprice

(1) carnadh ian dearfach: Nuair a dhéantar an sprioc a nimhiú, déantar scannán inslithe ar an dromchla sprice. Nuair a shroicheann iain dhearfacha an dromchla sprice catóide, mar gheall ar an gciseal inslithe a bhlocáil, ní féidir leo dul isteach go díreach leis an dromchla sprice catóide ach carnadh ar an dromchla sprice, a bhfuil an réimse fuar i mbaol. Urscaoileadh stua - stailceanna a chuireann cosc ar sputtering dul ar aghaidh.

Ceathrú, an míniú fisiciúil ar nimhiú sprice

(1) Go ginearálta, tá an chomhéifeacht tánaisteach astaíochta leictreon de chomhdhúile miotail níos airde ná comhéifeacht miotail. Tar éis an sprioc a bheith nimh, clúdaítear dromchla na sprice le comhdhúile miotail. Tar éis do na hiain a bheith bombarded, méadaíonn líon na leictreon tánaisteach a scaoiltear amach, rud a fheabhsaíonn éifeachtúlacht an spáis. Seoltacht, ag laghdú bacainní plasma, as a dtagann voltas sputtering níos ísle. Dá bhrí sin, laghdaítear an ráta sputtering. Go ginearálta, is é an voltas sputtering de sputtering maighnéada idir 400V agus 600V. Nuair a tharlaíonn nimhiú sprice, laghdófar an voltas sputtering go mór.

(2) Tá an ráta sputtering de sprioc miotail agus an sprioc cumaisc difriúil. Go ginearálta, tá an chomhéifeacht miotail sputtering níos airde ná an chomhdhúil, mar sin tá an ráta sputtering íseal tar éis an sprioc a bheith nimh.

An cúigiú, an réiteach chun díriú ar nimhiú

(1) Bain úsáid as soláthar cumhachta minicíochta idirmheánach nó soláthar cumhachta minicíochta raidió.

(2) Glactar le rialú lúb dúnta ar insreabhadh an gháis imoibriúcháin.

(3) ag baint úsáide as dúbailte spriocanna

(4) Athrú an mhodha sciath a rialú: roimhe seo bonntáit , Bailigh an cuar éifeacht hysteresis den sprioc -nimhiú, ionas go ndéantar an t -aer -sreabhadh iontógála a rialú ag tosach na sprice nimhiú, ionas go mbeidh an próiseas sa mhodh i gcónaí sula dtiteann an ráta sil -leagain go géar.