Cad is comhshuíomh agus comh-fhulaingt ann?

Tá sputtering agus galú teirmeach dhá cheann den PVD taiscthe gaile fisiciúil coitianta Déantúsóirí Córais Cumhdach PVD na Síne Teicnící próisis sciath scannáin tanaí. Arna chur i dtimpeallacht ard i bhfolús, tá na modhanna seo i gcroílár an leathsheoltóra, na optaic, na bhfótóinic, na dtionscal míochaine, na dtionscal ardfheidhmíochta agus na dTionscail Aero.

Ciallaíonn “CO” frithpháirteach, coitianta - níos mó ná ceann amháin. Ciallaíonn comh-chomhshuíomh agus comh-imoibriú níos mó ná ábhar brataithe amháin a chur i bhfeidhm ar fhoshraith a cheadaíonn do raon leathan cumadóireachtaí agus cóimhiotail nua agus iontach a chruthú nach féidir cáilíochtaí uathúla agus iontacha a dhéanamh gan an teicneolaíocht scannán tanaí seo a leathnú go tapa.
Is éard atá i gceist le comh-phoitéinseal ná an áit a ndéantar dhá ábhar spriocdhírithe (nó “foinse”) a sputtered, ag an am céanna nó i seicheamh sa seomra folúis, agus is minic a úsáidtear é le sputtering maighnéada imoibríoch chun scannáin tanaí a tháirgeadh atá comhcheangailte mar chóimhiotail miotail nó comhdhéanamh neamh-mhiotalacha mar cheirmeacha.

Úsáidtear é go forleathan sna tionscail ghloine optúla agus ailtireachta. Trí úsáid a bhaint as comh-phoitéinseal imoibríoch dhá sprioc-ábhar amhail sileacain agus tíotáiniam le sputtering dé-mhaighnéada, is féidir an t-innéacs athraonta nó an éifeacht scáthaithe den ghloine a rialú go cúramach agus go beacht ar iarratais a théann ó dhromchlaí ar scála mór, cosúil le gloine ailtireachta, go spéaclaí gréine. Úsáidtear é go forleathan freisin ag táirgeadh painéil ghréine agus taispeántais. Leanann na hiarratais ar chomhordú ag fás gach lá i gcónaí.

Úsáideann comh-phoitéinseal níos mó ná catóid amháin (dhá nó triúr de ghnáth) sa seomra próisis inar féidir an chumhacht do gach catóid a rialú go neamhspleách. Is féidir go gciallódh sé go bhfuil il -chaitóidí den sprioc -ábhar céanna ag feidhmiú ag an am céanna chun rátaí sil -leagain a mhéadú, nó is féidir leis na cineálacha éagsúla spriocanna a chomhcheangal ábhair sa seomra próisis chun cumadóireachtaí agus airíonna uathúla a chruthú i scannáin tanaí.

Spriocanna sileacain a dhéantar a sputtered isteach i bplasma ina bhfuil ocsaigin mar fhoirmeacha gáis imoibríoch SiO2 a bhfuil innéacs athraonta de 1.5 aige. Tíotáiniam sputtered isteach sa phlasma le foirmeacha ocsaigine TiO2 le hinnéacs machnamhach de 2.4. Tríd an dá sprioc seo a chomhordú agus an chumhacht a athrú do gach ceann de na dé-mhaighnéadanna seo, is féidir an t-innéacs beacht athraonta den sciath a oiriúnú agus a thaisceadh ar an ngloine go dtí aon innéacs athraonta inmhianaithe idir 1.5 agus 2.5.

Ar an mbealach seo, chuir comh -phoitéinseal imoibríoch ar chumas bratuithe tanaí scannán a chruthú ar ghloine agus ar ábhair eile le hinnéacsanna saincheaptha nó grádaithe athraonta - lena n -áirítear fiú bratuithe a athraíonn tréithe machnamhacha na gloine ailtireachta de réir mar a fhásann an ghrian níos láidre nó níos laige.
Próiseas galúcháin teirmeach is ea an comh-evaporation a bhféadfadh buntáistí nó míbhuntáistí a bheith aige i gcomparáid le comh-chomhbhrú, ag brath ar an bhfeidhmchlár sonrach, is fearr a thuigtear trí na difríochtaí bunúsacha idir galú agus próisis sciath PVD a shainiú.

Le comh-eisiamh, déantar na hábhair sciath a théamh i seomra folúis ard go dtí go dtosaíonn siad ag galú nó ag sublimate. Baintear é seo amach tríd an mbunábhar atá á théamh agus á ngalú as ciseán báid filiméid/sreinge frithsheasmhach nó as breogán ag baint úsáide as léas leictreon. Chun leibhéal ard aonfhoirmeachta a bhaint amach le scannáin tanaí atá galaithe go teirmeach, is minic a dhéantar an tsubstráit atá le brataithe a láimhseáil trí é a rothlú ar ais amháin nó dhó laistigh den seomra sil -leagain.

Feidhmchláir choiteanna ar scannáin tanaí comhshuímh Tá bratuithe miotalaithe ar phlaistigh, ar ghloine nó ar ábhar foshraithe eile a sholáthraíonn ardleibhéal teimhneachta agus frithchaiteachta, scátháin teileascóp, agus painéil ghréine.

Tá na héifeachtúlachtaí taifead is airde bainte amach ag painéil ghréine atá bunaithe ar Cu (IN, GA) SE2 (CIGS) i measc cealla gréine tanaí scannáin le héifeachtúlacht taifeadta os cionn 20%. Is é an rud is tábhachtaí don rath seo ná an próiseas comh-imeachta 3-chéim a mbíonn grádán dúbailte DA mar thoradh air le tiúchan GA méadaithe ó dhromchlaí tosaigh agus cúil an sil-leagan scannán tanaí. Is iad seo an cineál éifeachtúlachtaí stoichiometric Tá próisis chomhshuite ag seachadadh sa saol fíor ag déanamh domhan níos glaise, níos glaine, níos tíosaí ar fhuinneamh atá ag leathnú go tapa isteach sa todhchaí.