Comhairliúchán táirgí
Ní fhoilseofar do sheoladh ríomhphoist. Tá réimsí riachtanacha marcáilte -
Go ginearálta soláthraíonn meaisíní sputtering Magnetron aonfhoirmeacht níos fearr — éagsúlacht tiús a bhaint amach de ghnáth ±2–5% ar fud an tsubstráit - cé go traidisiúnta meaisíní sciath bhfolús (cosúil le córais fhriotacha nó córais galú léas leictreoin) raon ó ±5–15% ag brath ar chumraíocht agus geoiméadracht an tsubstráit. Caolaíonn an bhearna go mór, áfach, nuair a bhíonn meaisíní brataithe i bhfolús feistithe le daingneáin uainíochta pláinéadacha, achair optamaithe foinse-go-foshraith, agus rialuithe próisis chun cinn. I gcás go leor feidhmeanna tionsclaíocha, braitheann an rogha ceart ar gheoiméadracht an tsubstráit, ar airíonna scannáin riachtanacha, agus ar mhéid táirgeachta seachas ar aonfhoirmeacht amháin.
Tagraíonn aonfhoirmeacht sciath do chomh comhsheasmhach agus a thaisceadh scannán tanaí i dtéarmaí tiús, comhdhéanamh, agus airíonna ar fud dhromchla iomlán an tsubstráit. Is gnách é a shloinneadh mar chlaonadh céatadáin (±%) ón spriocthiús. Is féidir le droch-aonfhoirmeacht a bheith mar thoradh ar:
Is féidir le dhá mheaisín “acmhainn chomhchosúil” — a chiallaíonn toirt inchomparáide aireagail, méid sprice, agus ualach an tsubstráit — torthaí aonfhoirmeachta an-difriúla fós a tháirgeadh bunaithe ar a modh sil-leagan, dearadh daingneáin agus paraiméadair phróisis.
Úsáideann sputtering maighnéadrón plasma atá teoranta go maighnéadach chun sprioc-adaimh a dhíbirt, a thaisceann ansin ar an tsubstráit. Táirgeann fisic an phróisis seo go nádúrtha flosc níos leithne agus níos idirleata d'ábhar brataithe i gcomparáid le modhanna atá bunaithe ar ghalú. I measc na bpríomhbhuntáistí aonfhoirmeachta tá:
I gcás foshraitheanna árasán mór-limistéar cosúil le painéil ghloine ailtireachta nó painéil taispeána, is é sputtering magnetron an caighdeán tionscail go beacht mar gheall ar an mbuntáiste aonfhoirmeachta seo.
Astaíonn meaisíní brataithe traidisiúnta i bhfolús atá bunaithe ar ghalú teirmeach nó galú léas leictreoin ábhar brataithe i bpatrún pointe foinse níos mó treo. Gan cúiteamh, mar thoradh air seo tá scannán "lár-trom" clasaiceach le bratuithe níos tiús ag an lár agus níos tanaí ag na himill. Mar sin féin, tugann meaisíní brataithe folúis nua-aimseartha aghaidh ar seo trí réitigh innealtóireachta éagsúla:
Déanann meaisíní sciath bhfolús optúla ard-deireadh atá deartha le haghaidh táirgeadh lionsaí beachtas aonfhoirmeacht a bhaint amach go rialta ±0.5–1% úsáid a bhaint as teaglaim de mhaiscí ceartúcháin agus rothlú — feidhmíocht atá in iomaíocht le nó a sháraíonn córais chaighdeánacha sputtering maighnéadróin.
Déanann an tábla thíos achoimre ar ghnáthfheidhmíocht aonfhoirmeachta ar fud cineálacha córais éagsúla a bhfuil toilleadh cumainn comhchosúil acu (thart ar thrastomhas cuasáin 600–1000mm, scála lár-táirgthe):
| Cineál Córais | Comhionannas tipiciúla | Comhionannas Cás is Fearr | Is Fearr Le haghaidh |
|---|---|---|---|
| Meaisín Cumhdach Fholúis Galú Teirmeach | ±8–15% | ±3–5% (le rothlú) | Bratuithe maisiúil, pacáistiú |
| Meaisín Cumhdach Fholúis Galú E-Beam | ±5–10% | ±0.5–1% (le rothlú masc) | Scannáin tanaí optúla, lionsaí cruinneas |
| Meaisín Sputtering DC Magnetron | ±3–5% | ±1–2% (sprioc inlíne/rothlach) | Scannáin miotail, foshraitheanna cothrom |
| Meaisín Sputtering RF Magnetron | ±3–6% | ±2% (céimseata optamaithe) | Scannáin tréleictreach, inslitheoirí |
| Meaisín Sputtering HiPIMS | ±2–4% | ±1% (rialú chun cinn) | Bratuithe crua ard-dlúis, uirlisí |
In ainneoin an bhuntáiste aonfhoirmeachta ginearálta a bhaineann le sputtering maighnéadrón, tá níos fearr ag meaisíní brataithe folúis i gcásanna sonracha:
Déanann meaisíní brataithe folúis atá bunaithe ar ghalú, go háirithe nuair a chomhcheanglaítear iad le daingneáin phláinéadacha, rudaí tríthoiseach mar jewelry, frámaí spéaclaí, cásanna faire, agus páirteanna Baile Átha Troim feithicleach a chóta ar bhealach níos comhionainne ná sputtering maighnéadrón comhréidh, a bhíonn ag streachailt le cuais dhomhain agus geoiméadracht undercut.
Maidir le bratuithe optúla beachtais - bratuithe frith-machnaimh ar lionsaí ceamara, scátháin léasair, nó optaic teileascópacha - is iad meaisíní folús-bhrataithe galú r-léas le maisc cheartúcháin an rogha is fearr. aonfhoirmeacht na ±0.3–0.5% insroichte, rud atá ríthábhachtach nuair a chinneann tiús scannáin go díreach feidhmíocht tonnfhad optúil.
Maidir le hiarratais ina bhfuil aonfhoirmeacht ±5% inghlactha, is gnách go gcosnaíonn meaisín sciath folúis 30-60% níos lú ná meaisín sputtering magnetron inchomparáide agus tá costais chothabhála níos ísle aige mar gheall ar chrua-earraí níos simplí. Mar sin is é an rogha réasúnach é le haghaidh maisiúil, pacáistiú, agus go leor feidhmchláir sciath feidhmiúla.
Beag beann ar an gcineál meaisín, bíonn tionchar díreach ag na hathróga próisis seo a leanas ar aonfhoirmeacht an bhrataithe agus ba cheart iad a mheas agus córais á gcur i gcomparáid:
Bain úsáid as an treoir seo a leanas chun riachtanas aonfhoirmeachta d’iarratais a mheaitseáil leis an gcóras cuí:
Tairgeann meaisíní sputtering Magnetron a buntáiste aonfhoirmeachta struchtúracha d'fhoshraitheanna árasán mór-limistéar ag scála lár-táirgthe — de ghnáth ag seachadadh ±2–5% gan daingneáin speisialta. Mar sin féin, is féidir le meaisín sciath bhfolús dea-chumraithe le maisc uainíochta pláinéadach nó ceartúcháin an fheidhmíocht seo a mheaitseáil nó a shárú, go háirithe i gcás foshraitheanna 3D nó feidhmchláir optúla beachtais. Ní hé an córas is fearr an ceann a bhfuil an tsonraíocht aonfhoirmeachta ceannlíne is airde aige, ach an ceann a innealtóireacht do do gheoiméadracht tsubstráit ar leith, d'ábhar scannáin agus do thréchur táirgeachta. Iarr i gcónaí sonraí tástála aonfhoirmeachta ón monaróir agus úsáid á baint agat as méid agus cruth an tsubstráit iarbhír sula ndéanann tú cinneadh ceannaigh.
Ní fhoilseofar do sheoladh ríomhphoist. Tá réimsí riachtanacha marcáilte -
Tel: +86-13486478562
FAX: +86-574-62496601
Ríomhphost: [email protected]
Address: Uimh. 79 West Jinniu Road, Yuyao, Ningbo City, Zhejiang Provice, an tSín