Cad is meaisín sciath folúis sputtering magnetron agus conas a oibríonn sé?
Is teicneolaíocht úrscothach é an Meaisín Cumhdach Fholúis Sputtering Magnetron a úsáidtear le haghaidh sil-leagan tanaí ar raon leathan foshraitheanna. Ach cad é go díreach é, agus conas a oibríonn sé?
Ag a chroílár, an Magnetron Meaisín sciath folúis sputtering Is seomra ard-fhaomhadh é ina bhfuil spriocábhar, miotal nó cóimhiotal de ghnáth, agus foshraith atá le brataithe. Is éard atá i gceist leis an bpróiseas ná bombardú an sprioc-ábhair ag ian ardfhuinnimh, a scaoileann adaimh óna dhromchla agus a thaisceann iad ar an tsubstráit, ag cruthú scannán tanaí.
Is é ceann de na príomh-chomhpháirteanna den mheaisín sciath folúis sputtering an maighnéadón, ar cineál foinse plasma é a ghineann plasma ard-ianaithe sa seomra. Is éard atá sa mhaighnéadán ná catóid (an sprioc -ábhar), anóid, agus réimse maighnéadach. Feidhmíonn an réimse maighnéadach an plasma a theorannú agus feabhas a chur ar ianú na móilíní gáis sa seomra, go sputtering níos éifeachtaí.
Tosaíonn an próiseas trí an seomra a phumpáil síos go folús ard, go hiondúil thart ar 10^-6 Torr. Déantar an t -ábhar sprice a bhomúnú ansin le hiain, a mhúchadh adaimh agus a chruthaíonn flosc cáithníní a thaisctear ar an tsubstráit. Is féidir an ráta sil -leagain agus na hairíonna scannáin a rialú trí an flosc ian, an spriocvoltas, agus an brú sa seomra a choigeartú.
Ceann de na buntáistí a bhaineann le Magnetron Sputtering Meaisín Cumhdach Fholúis is ea a solúbthacht. Is féidir é a úsáid chun raon leathan ábhar a thaisceadh, lena n -áirítear miotail, cóimhiotail, criadóireacht, agus leathsheoltóirí. Is féidir é a úsáid freisin chun bratuithe ilchineálacha a chruthú, ar féidir leo airíonna uathúla a bheith acu, mar shampla cruas feabhsaithe, friotaíocht a chaitheamh, nó airíonna optúla.
Buntáiste eile a bhaineann le Magnetron Sputtering Meaisín Cumhdach Fholúis is ea a leibhéal ard aonfhoirmeachta. Feidhmíonn an réimse maighnéadach sa seomra an flosc ian a dháileadh go cothrom trasna dhromchla na sprice, go ráta sil -leagan níos aonfhoirmí agus tiús an scannáin.
Mar fhocal scoir, is teicneolaíocht an -sofaisticiúil é an meaisín maighnéadáin sputtering i bhfolús a úsáidtear go forleathan i dtionscail amhail aeraspáis, leictreonaic, agus optaic. Mar gheall ar a chumas chun raon leathan ábhar a thaisceadh, bratuithe ilchineálacha a chruthú, agus scannáin an-aonfhoirmeacha a tháirgeadh mar uirlis fíor-riachtanach le haghaidh taighde agus forbartha chomh maith le táirgeadh ar scála mór.
Is féidir bratuithe ian agus sputtering il-stua a thaisceadh i raon leathan dathanna. Is féidir feabhas breise a chur ar an ngearán dathanna trí gháis imoibríocha a thabhairt isteach sa seomra le linn an phróisis sil -leagain. Is iad na gáis imoibríocha a úsáidtear go forleathan le haghaidh bratuithe maisiúla ná nítrigin, ocsaigin, argón nó aicéitiléin. Déantar na bratuithe maisiúla a tháirgeadh i raon datha áirithe, ag brath ar an gcóimheas miotail-go-gás sa sciath agus i struchtúr an sciath. Is féidir an dá fhachtóir seo a athrú trí na paraiméadair sil -leagain a athrú.
Roimh an teistíocht, déantar na codanna a ghlanadh ionas go mbeidh an dromchla saor ó neamhíonachtaí deannaigh nó ceimiceacha. Nuair a bheidh an próiseas brataithe tosaithe, déantar monatóireacht leanúnach ar na paraiméadair phróisis ábhartha go leanúnach agus déantar rialú leanúnach ar chóras rialaithe ríomhaireachta uathoibríoch.