Is é croílár an chórais sil -leagan sputtering DC magnetron ná an teaglaim thaitneamhach de sholáthar cumhachta DC agus de réimse maighnéadach. I dtimpeallacht i bhfolús, cuireann an soláthar cumhachta DC réimse leictreach ardvoltais i bhfeidhm idir an sprioc agus an tsubstráit. Nuair a bhíonn neart an réimse leictrigh mór go leor, déantar na móilíní gáis támh a théann isteach sa seomra folúis a ianú chun plasma a dhéanamh. Déantar na hiain dhearfacha sna plasmas seo a luathú faoi ghníomh an réimse leictrigh agus buaileann siad dromchla na sprice ar luas an -ard.
Le linn an phróisis imbhuailte, déantar na hadaimh nó na móilíní ar dhromchla na sprice a sputtered amach toisc go bhfaigheann siad go leor fuinnimh chun cáithníní sputtered a dhéanamh. Eitlíonn na cáithníní seo sa bhfolús agus ar deireadh thiar taisceann siad ar dhromchla an tsubstráit chun an scannán riachtanach a dhéanamh. Is fiú a thabhairt faoi deara nach imbhualadh fisiciúil simplí é an próiseas seo, ach go bhfuil imoibrithe casta fisiceacha agus ceimiceacha ag gabháil leis, amhail neodrú ian, gabháil leictreon agus ath-astaíocht, etc.
D'fhéadfadh sé go mbeadh fadhbanna cosúil le róthéamh foshraithe agus éifeachtúlacht sputtering íseal mar thoradh ar sputtering simplí DC. Tugann córas sil -leagan sputtering DC magnetron réimse maighnéadach isteach. Gineann an gineadóir réimse maighnéadach réimse láidir maighnéadach ar chúl na sprice. Idirghníomhaíonn an réimse maighnéadach seo leis an réimse leictreach chun leictreoin a cheangal in aice leis an sprioc-dhromchla, ag cruthú réigiún plasma ard-dlúis. Déanann na leictreoin seo gluaisne bíseach sa réimse maighnéadach, ag méadú minicíocht na n -imbhuailtí leis na móilíní gáis oibre, ag feabhsú éifeachtúlacht ianúcháin agus ráta sputtering.
Achoimre an chórais
Is féidir bratuithe ian agus sputtering il-stua a thaisceadh i raon leathan dathanna. Is féidir feabhas breise a chur ar an ngearán dathanna trí gháis imoibríocha a thabhairt isteach sa seomra le linn an phróisis sil -leagain. Is iad na gáis imoibríocha a úsáidtear go forleathan le haghaidh bratuithe maisiúla ná nítrigin, ocsaigin, argón nó aicéitiléin. Déantar na bratuithe maisiúla a tháirgeadh i raon datha áirithe, ag brath ar an gcóimheas miotail-go-gás sa sciath agus i struchtúr an sciath. Is féidir an dá fhachtóir seo a athrú trí na paraiméadair sil -leagain a athrú.
Roimh an teistíocht, déantar na codanna a ghlanadh ionas go mbeidh an dromchla saor ó neamhíonachtaí deannaigh nó ceimiceacha. Nuair a bheidh an próiseas brataithe tosaithe, déantar monatóireacht leanúnach ar na paraiméadair phróisis ábhartha go leanúnach agus déantar rialú leanúnach ar chóras rialaithe ríomhaireachta uathoibríoch.
• Ábhar an tsubstráit: gloine, miotail (cruach charbóin, cruach dhosmálta, práis), Criadóireacht, plaisteach, jewelry.
• Cineál struchtúir: Struchtúr ingearach, #304 Cruach dhosmálta.
• Scannán Cumhdach: Scannán Miotal Ilfheidhmeach, Scannán Ilchodach, Scannán Trédhearcach Seolta, Scannán Frithchaiteachais, Scannán Sciath Leictreamaighnéadach, Scannán Maisiúil.
• Dath scannáin: il -dathanna, gunna dubh, dath órga tíotáiniam, dath órga ardaigh, dath cruach dhosmálta, dath corcra, dubh dorcha, gorm dorcha agus dathanna eile níos mó.
• Cineál scannáin: Tin, CRN, Zrn, Ticn, Ticrn, TINC, Tialn agus DLC.
• Tomhaltóirí i dtáirgeadh: Tíotáiniam, cróimiam, zirconium, iarann, sprioc cóimhiotail; Sprioc eitleáin, sprioc sorcóireach, spriocdhíriú, sprioc os coinne.
Iarratas:
• earraí gloine, mar chupán gloine, lampaí gloine, saothair ealaíne gloine.
• Shell fón plaisteach, páirteanna teileafóin.
• Tíleanna Mosaic.
• Tionscal leictreon, amhail scannán EMI.
• Breathnaíonn sé ar chodanna, cosúil le cás faire agus crios.
• Earraí boird, cosúil le forcanna miotail agus sceana.
• Earraí gailf, cosúil le ceann gailf, cuaille gailf agus liathróidí gailf.
• Táirgí sláintíochta/earraí seomra folctha.
• Láimhseálann & glais dorais.
• jewelry miotail.