Cumhdach ian stua DK

Sciath ian stua

PVD- Sil-leagan gaile fisiciúil
Is éard atá i bhfoirm amháin de sil -leagan fisiciúil gaile (sciath PVD) sciath ian stua. Thosaigh stair an sciath PVD ag baint úsáide as ARC Technology, a bhfuil bunús aige le Táthú ARC.

Spriocanna

Cuirtear an mhiotal atá le galú mar bhloc soladach (sprioc) i gcoinne an taobh istigh de sheomra folúis. Déantar urscaoileadh glow a adhaint agus ritheann sé ar an sprioc, ag fágáil lorg. Déantar spotaí beaga de roinnt sprioc -ábhar μm trastomhas a ghalú. Is féidir le maighnéid gluaiseacht an stua a threorú.

Sciath plasma

Úsáidtear an t -ábhar ianaithe galaithe mar sciath plasma ar tháirge a rothlaíonn taobh istigh den seomra folúis. Úsáidtear bratuithe stua mar sciath uirlisí agus sciath chomhpháirte.

Samplaí de chótaí

Is iad na samplaí de sciath stua ná stáin, aitin, aicrn, tisin, ticn, crcn agus sciath CRN

Dearcadh sceidealta ar phróiseas stua PVD.

An tréithriú ar theicneolaíocht sciath stua:

Rátaí ard -leagain (1 ~ 3 μm/h) ianú ard, as a dtagann greamaitheacht mhaith agus bratuithe dlúth de réir mar a fhuaraítear an sprioc, is beag teas a ghintear ar an tsubstráit, fiú sciath ag teochtaí faoi bhun 100 ℃ is féidir roinnt cumadóirí miotail a ghalú, ag fágáil an sprioc soladach atá fágtha gan athrú ina chomhdhéanamh. Is féidir na catóidí a chur in aon suíomh (cothrománach, ingearach, bun os cionn), rud a fhágann gur féidir dearadh meaisín solúbtha a dhéanamh.

Na míbhuntáistí is mó a bhaineann le teicneolaíocht sciath stua:

Cineál Teoranta Sprioc -Ábhair - Miotail amháin (gan ocsaídí) - nach bhfuil teocht ró -íseal acu mar gheall ar na dlúis reatha ard a scaoiltear cuid den sprioc -ábhar mar bhraoiníní beaga leachta.