DK sciath sputtering

Cumhdach Sputtering Magnetron

Foirm eile de theicneolaíocht sciath PVD.

Sciath plasma

Is próiseas brataithe plasma é sputtering maighnéadróin trína ndéantar ábhar sputtering a dhíbirt mar gheall ar bombardú ian ar an dromchla sprice. Tá an seomra folúis den mheaisín sciath PVD líonta le gás támh, mar Argón. Tríd voltas ard a chur i bhfeidhm, cruthaítear urscaoileadh glow, agus mar thoradh air sin tá luasghéarú na n -ian chuig an sprioc -dhromchla agus sciath plasma. Díreoidh na hiain argón ábhair sputtering ón dromchla sprice (sputtering), agus mar thoradh air sin beidh ciseal sciath sputtered ar na táirgí os comhair na sprice.

Sputtering imoibríoch

Is minic a úsáidtear gás breise amhail nítrigin nó aicéitiléin, a imoibríonn leis an ábhar díbeartha (sputtering imoibríoch). Tá raon leathan bratuithe sputtered indéanta leis an teicníc sciath PVD seo. Tá teicneolaíocht sputtering Magnetron an -bhuntáiste do chótaí maisiúla (m.sh. TI, CR, ZR agus nítrídí carbóin), mar gheall ar a nádúr réidh. Fágann an buntáiste céanna go n -úsáidtear magnetron go forleathan le haghaidh sciath treibheolaíochta i margaí na ngluaisteán (m.sh. CRN, CR2N agus teaglaim éagsúla le sciath DLC - Diamond cosúil le sciath charbóin).

Réimsí maighnéadacha

Tá sputtering magnetron beagán difriúil ó theicneolaíocht ghinearálta sputtering. Is é an difríocht ná go n -úsáideann teicneolaíocht sputtering maighnéad réimsí maighnéadacha chun an plasma a choinneáil os comhair na sprice, ag treisiú bombardú na n -ian. Tá plasma an -dlúth mar thoradh ar an teicneolaíocht sciath PVD seo.

Carachtar na Teicneolaíochta Sputtering Magnetron:

• sprioc fuaraithe uisce, is beag teas radaíochta a ghintear
• Is féidir beagnach aon sprioc -ábhar miotalach a sputtered gan dianscaoileadh
• Is féidir ábhair neamh-sheoltacha a sputtered trí mhinicíocht raidió (RF) a úsáid

nó cumhacht mheánmhinicíochta (MF)

• Is féidir bratuithe ocsaíde a sputtered (sputtering imoibríoch)
• aonfhoirmeacht ciseal den scoth
• Cótaí sputtered an -réidh (gan braoiníní)
• Is féidir catóid (suas le 2 mhéadar ar fhad) a chur in aon áit, mar sin solúbthacht ard dearadh trealaimh sputtering

Míbhuntáiste a bhaineann le Teicneolaíocht Sputtering Magnetron.